近日，记者从成都高新区得知，由成都太科光电技术有限责任公司分担的国家重点研发计划根本性科学仪器设备研发项目《超强平滑表面可用检测仪》月启动。　　记者了解到，作为四川目前唯一一项国家十三五重点研发计划根本性科学仪器设备的研发项目，该项目将通过专项造就，构建国内优势力量重点创意，构建高端超强平滑表面可用检测仪器国产化，替代国外同类产品，超越国外公司的技术独占和价格壁垒。　　记者了解到，该项目由成都太科光电技术有限责任公司联合，协同国内多家技术实力雄厚的大学、研究所和企业构成产、学、研、用结合的项目团队联合实行。

该项目白鱼研制用作非半透明物体超强平滑表面及具备多层超强平滑平行反射面半透明物体的纳米级表面形貌低精密测量的150mm超强平滑表面可用检测仪。该仪器主要用作高精度非认识测量，可以普遍的应用于高速集成电路、微电子集成电路、光电集成电路、半导体生产、半导体灯光以及太阳能新能源电池等基片TTV、弯曲度、表面质量等关键参数的较慢检测，还可应用于大型现代光学工程系统，如大型高功率液体激光系统、极紫外光刻、航空航天空间光学等领域中大口径元件面形、材料特性等参数测量。项目预期获得或申请人发明专利、软件着作权、涉及标准等25项涉及知识产权，研究成果预计公开发表涉及论文20余篇。　　以不受检测器件芯片为事例，芯片是由多层包含且呈圆形半透明或半透明状态，不受自干预条纹等条件影响，传统接触式测量中其他表面不会影响到待测表面的实际检测，且任何认识都会对芯片本身导致一定损害。

而超强平滑表面可用检测仪使用非接触式测量，且使用多表面分离出来算法，该算法可以分离出待测表面的信息，防止不受其它表面的影响。成都太科光电总经理赵智亮讲解说道，该项目的实行，可以提升国内面形检测的能力，构建多表面元件或平行平板的检测，使其主要技术指标超过或多达国外同类产品水平。项目已完成后，将研制数台超强平滑表面可用检测仪，构成具备自律知识产权的系列化产品和关键技术与产业化路线，为未来产业化发展获取工艺路线。

预计项目竣工验收后三年内，完备仪器产品化所有流程，基本构成产品化的标准工艺流程，企业产值超过上亿元。　　同时，记者了解到，该项目仪器的研制将造就国内涉及产业发展，超强平滑表面可用检测仪将在半导体灯光、太阳能新能源，高速集成电路、微电子集成电路、光电集成电路以及国家根本性光学工程等涉及行业和领域获得普遍的应用于。转变现在使用的接触式测量方式，大大提高检测精度和测试效率，对于这些应用于行业和领域具备极大的造就和促进作用。　　记者了解到，该项目早已分别取得国家科技部2000万元、成都高新区200万元资金反对。

成都高新区希望企业积极开展自主创新，大力分担国家科技计划项目，提高研发水平和创新能力。成都高新区科技局涉及负责人说道，取得国家根本性科技创新项目立项反对且项目国拨给资金做到的成都高新区企业，可按照国拨给资金实际做到额的10%展开设施资助申请人，同一项目申请人金额最低不多达200万元，同一家企业同一年度申请人该类资金额度最低不多达200万元。

未来五年，成都高新区将每年决定不高于10亿元资金、倒数5年，反对著名大学科研成果在区内转化成；每年决定不高于10亿元资金、倒数5年，反对国内外顶尖企业研发中心在区内落户；每年决定不高于10亿元资金、倒数5年，反对引入高端人才到成都高新区发展。

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